典型文献
用于纳米级表面形貌测量的光学显微测头
文献摘要：
为了满足纳米级表面形貌样板的高精度非接触测量需求,研制了一种高分辨力光学显微测头.以激光全息单元为光源和信号拾取器件,利用差动光斑尺寸变化探测原理,建立了微位移测量系统,结合光学显微成像系统,形成了高分辨力光学显微测头.将该测头应用于纳米三维测量机,对台阶高度样板和一维线间隔样板进行了测量实验.结果表明:该光学显微测头结合纳米三维测量机可实现纳米级表面形貌样板的可溯源测量,具有扫描速度快、测量分辨力高、结构紧凑和非接触测量等优点,对解决纳米级表面形貌测量难题具有重要实用价值.
文献关键词：
纳米测量;激光全息单元;位移;光学显微测头;纳米级表面形貌
中图分类号：
作者姓名：
李强;任冬梅;兰一兵;李华丰;万宇
作者机构：
航空工业北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室,北京100095
文献出处：
引用格式：
[1]李强;任冬梅;兰一兵;李华丰;万宇-.用于纳米级表面形貌测量的光学显微测头)[J].计测技术,2022(02):91-96
A类：
纳米级表面形貌,光学显微测头,激光全息单元,线间隔样板
B类：
形貌测量,非接触测量,分辨力,光源,信号拾取,差动,光斑尺寸,尺寸变化,微位移测量,位移测量系统,光学显微成像,成像系统,三维测量,测量机,台阶高度,测量实验,可溯源,扫描速度,结构紧凑,凑和,纳米测量
AB值：
0.22282
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