典型文献
小尺寸高精度薄膜压力传感器研制
文献摘要：
针对目前溅射薄膜压力传感器由于芯片尺寸较大,导致封装尺寸难以小型化、轻量化问题,利用周边固支小挠度理论,结合ANSYS有限元仿真分析软件,进行小尺寸压力芯片的设计,然后采用研磨抛光和离子束溅射沉积等技术研制出压力芯片,并进行封装,形成更小尺寸的压力传感器.通过对传感器性能测试,静态测试精度达到0.058％,测试精度高,而在高低温下的输出漂移优于典型的薄膜压力传感器指标,且通过在长时间工作情况下的零点输出监测情况,证明传感器具有良好的工作稳定性.
文献关键词：
压力传感器;高精度;溅射;ANSYS;周边固支
中图分类号：
作者姓名：
蓝镇立;杨晓生;周国方;余浪
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙410111;薄膜传感技术湖南省国防重点实验室,湖南长沙410111;高性能智能传感器及检测系统湖南省重点实验室,湖南长沙410111
文献出处：
引用格式：
[1]蓝镇立;杨晓生;周国方;余浪-.小尺寸高精度薄膜压力传感器研制)[J].传感器世界,2022(10):20-25
A类：
周边固支
B类：
小尺寸,薄膜压力传感器,溅射薄膜,芯片尺寸,封装,小型化,挠度理论,有限元仿真分析,压力芯片,研磨抛光,离子束溅射,溅射沉积,传感器性能,静态测试,测试精度,高低温,输出漂移,零点,工作稳定性
AB值：
0.287033
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