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国内外光刻胶发展概述
文献摘要：
光刻胶是半导体器件生产过程中至关重要的化学品,国内外均对该产品的研发投入大量人力物力.文章从光刻胶的主要成分树脂为出发点,对光刻胶的种类进行了分类综述.对国内市场的光刻胶研发情况进行了简述,并对促进光刻胶研发进度提出几点建议.
文献关键词：
光刻胶;聚合物;IC行业
中图分类号：
作者姓名：
苏义旭;马亮亮
作者机构：
合肥本源量子计算科技有限责任公司,安徽 合肥 340000
文献出处：
引用格式：
[1]苏义旭;马亮亮-.国内外光刻胶发展概述)[J].化工管理,2022(07):62-64
A类：
B类：
光刻胶,发展概述,半导体器件,化学品,研发投入,人力物力,分类综述,国内市场,几点建议,IC
AB值：
0.264067
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