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退火条件对磁控溅射MgO-Ag3Sb-Sb2O4柔性薄膜热电性能的影响
文献摘要：
MgAgSb是一种具有潜力且元素储量相对丰富的室温热电材料,有望用于构建高性能可穿戴温差电池.本研究尝试在聚酰亚胺(PI)基底上磁控溅射制备MgAgSb薄膜,并系统研究退火条件对其热电性能的影响.结果表明样品未形成纯相的MgAgSb柔性热电薄膜,而是形成了由Ag3Sb、MgO及Sb2O4多相组成的柔性薄膜,其中Ag3Sb起主要热电功能.不同气氛退火可以显著提升MgO-Ag3Sb-Sb2O4(Mg-Ag-Sb)柔性薄膜的热电性能,其中真空处理性能最佳.在真空条件下,随着退火温度升高,柔性薄膜的热电性能呈现先增加后减少的趋势,当退火温度为573 K时热电性能最佳,室温附近功率因子达到74.16μW·m–1·K–2.并且,薄膜表现出较好的柔性,弯曲900次后,电导率仅变化了14％.本研究为MgAgSb柔性热电薄膜的制备及可穿戴应用提供了参考.
文献关键词：
MgAgSb;退火处理;热电性能;柔性薄膜
中图分类号：
作者姓名：
刘丹;赵亚欣;郭锐;刘艳涛;张志东;张增星;薛晨阳
作者机构：
中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 太原030051;西安理工大学 电子工程系, 西安710048
文献出处：
引用格式：
[1]刘丹;赵亚欣;郭锐;刘艳涛;张志东;张增星;薛晨阳-.退火条件对磁控溅射MgO-Ag3Sb-Sb2O4柔性薄膜热电性能的影响)[J].无机材料学报,2022(12):1302-1310
A类：
Ag3Sb,Sb2O4,MgAgSb
B类：
退火条件,磁控溅射,MgO,柔性薄膜,热电性能,储量,温热,热电材料,聚酰亚胺,柔性热电薄膜,相组成,电功,不同气氛,真空处理,处理性能,空条,退火温度,功率因子,电导率,可穿戴应用,退火处理
AB值：
0.19146
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