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圆筒型三极式碳纳米管阴极电离规计量学特性研究
文献摘要：
利用丝网印刷法制备了一种碳纳米管场发射阴极,并将其用作圆筒型三极式电离规的电子源,研究了该电离规在空气氛围中的计量学特性.研究表明,在10-7～10-4 Pa的压力范围内电离规离子电流和实验气体压力呈良好线性特征,测量下限比传统圆筒型三极式热阴极电离规低2个数量级;该规的功耗仅8.5 mW,灵敏度约0.047 Pa-1,极低的功耗使其在空间探测中具有潜在应用价值.
文献关键词：
电离规;碳纳米管;场发射阴极;真空计量;测量下限
中图分类号：
作者姓名：
王永军;张建
作者机构：
兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,兰州 730000;东南大学 电子科学与工程学院,南京 210096
文献出处：
引用格式：
[1]王永军;张建-.圆筒型三极式碳纳米管阴极电离规计量学特性研究)[J].真空与低温,2022(04):420-424
A类：
碳纳米管阴极,热阴极电离规,真空计量
B类：
圆筒型,三极,丝网印刷,场发射阴极,电子源,Pa,离子电流,气体压力,线性特征,测量下限,数量级,功耗,mW,空间探测,潜在应用
AB值：
0.218558
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