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典型文献
计量级磁悬浮转子真空计技术研究
文献摘要:
磁悬浮转子真空计为国际公认的高真空范围溯源/传递标准,因其优良的计量特性和化学惰性,广泛应用于航空航天、核工业、半导体和高端装备制造等领域.针对高真空范围传递标准国产化需求,开展了永磁偏置转子稳定悬浮、转子轴向位移精确测量、转子转速衰减速率动力学模型构建及高精度检测等关键技术研究,为计量级磁悬浮转子真空计研制、实现高真空范围真空量值溯源/传递国际等效,进而建立我国现代先进的真空计量技术体系奠定基础.
文献关键词:
磁悬浮转子;真空计量;传递标准;黏滞型真空计
作者姓名:
习振华;郭美如;李博文;周明旭;李宇;贾文杰;张虎忠;任正宜;成永军;李得天
作者机构:
兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,兰州 730000;东北大学机械工程与自动化学院,沈阳 110819
文献出处:
引用格式:
[1]习振华;郭美如;李博文;周明旭;李宇;贾文杰;张虎忠;任正宜;成永军;李得天-.计量级磁悬浮转子真空计技术研究)[J].真空与低温,2022(04):409-419
A类:
真空计量,黏滞型真空计
B类:
磁悬浮转子,高真空,传递标准,计量特性,惰性,航空航天,核工业,高端装备制造,国产化,永磁,磁偏置,稳定悬浮,转子轴,轴向位移,精确测量,转子转速,衰减速率,高精度检测,关键技术研究,量值溯源,计量技术
AB值:
0.272374
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