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异形电极调控的体声波谐振器力–电多场耦合仿真与优化
文献摘要：
目的 抑制压电薄膜体声波谐振器(FBAR)寄生振动模态干扰,提出一种异形电极调控的谐振器新结构,并进行力–电多物理场耦合有限元建模分析与参数优化.方法 基于压电薄膜体声波谐振器的力–电耦合方程,运用有限元方法进行参数影响仿真分析,获得不同电极结构形状与敏感几何参数对应的谐振器阻抗特性及寄生振动模态干扰的影响规律,并对提出的异形电极调控谐振器几何参数进行优化.结果 新型电极结构使得薄膜体声波谐振器的导纳特性曲线更加平滑,相位波纹减少,无明显寄生谐振峰.参数优化所得框状电极宽度为6μm、厚度为0.1μm,谐振频率为1.727 GHz.结论 通过异形电极结构形状设计,可以实现对谐振器寄生振动模态的有效抑制,提升谐振器的性能.
文献关键词：
薄膜体声波谐振器;压电效应;多物理场耦合;有限元;频率响应;寄生振动
中图分类号：
作者姓名：
詹雪奎;万强;凌明祥
作者机构：
中国工程物理研究院 总体工程研究所,四川 绵阳 621900
文献出处：
引用格式：
[1]詹雪奎;万强;凌明祥-.异形电极调控的体声波谐振器力–电多场耦合仿真与优化)[J].装备环境工程,2022(06):127-132
A类：
寄生振动
B类：
异形,多场耦合仿真,压电薄膜,薄膜体声波谐振器,FBAR,振动模态,新结构,多物理场耦合,有限元建模,建模分析,有限元方法,参数影响,不同电极结构,结构形状,几何参数,阻抗特性,新型电极,导纳特性,特性曲线,波纹,谐振峰,电极宽度,谐振频率,GHz,形状设计,压电效应,频率响应
AB值：
0.25004
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