典型文献
一种基于矩形压缩波导的5.8 GHz微波等离子体激发装置
文献摘要：
微波放电产生的等离子体具有高效率、高电离度、易于控制等优点,在工业界引起了广泛关注.本文提出了基于BJ58矩形终端压缩波导的结构来设计一款工作频率为5.8 GHz的微波等离子体激发装置,并利用有限元法对该装置进行了仿真优化,实验表明所设计的装置只需30 W微波功率即可激发8 L/min的氩气产生线形等离子体,验证了该微波等离子体源的可行性.
文献关键词：
微波等离子体;5.8 GHz压缩波导;有限元法
中图分类号：
作者姓名：
张瑶圃;吴丽;黄卡玛
作者机构：
四川大学电子信息学院,四川成都610065
文献出处：
引用格式：
[1]张瑶圃;吴丽;黄卡玛-.一种基于矩形压缩波导的5.8 GHz微波等离子体激发装置)[J].真空电子技术,2022(02):82-85,106
A类：
BJ58
B类：
压缩波,波导,GHz,微波等离子体,等离子体激发,微波放电,电离度,易于控制,工业界,工作频率,有限元法,仿真优化,微波功率,氩气,线形,等离子体源
AB值：
0.317246
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