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微纳系统微区感应加热技术的研究进展
文献摘要：
微区感应加热作为一种局部加热技术,兼具热响应快、非接触及加热特性可控等优势,在微机电系统、微流控芯片等微纳系统领域的应用潜力巨大.介绍了微区感应加热的基本原理,系统阐述了微区感应加热在封装、驱动及材料生长等方向的研究进展,分析了待解决的关键问题,总结并指出了发展方向.
文献关键词：
感应加热;局部加热;微系统;封装
中图分类号：
作者姓名：
吴德志;陈卓;海振银;陈亮;叶坤;王凌云;赵立波
作者机构：
厦门大学机电工程系,厦门,361005;航空工业自控所惯性技术航空科技重点实验室,西安,710065;西安交通大学机械工程学院,西安,710049
文献出处：
引用格式：
[1]吴德志;陈卓;海振银;陈亮;叶坤;王凌云;赵立波-.微纳系统微区感应加热技术的研究进展)[J].中国机械工程,2022(01):2-14,23
A类：
B类：
微区,感应加热,加热技术,热作,局部加热,热响应,非接触,触及,热特性,微机电系统,微流控芯片,封装,材料生长,微系统
AB值：
0.330061
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