典型文献
超锐截止生物医学滤光片的研制(特邀)
文献摘要：
高端荧光、拉曼等生物医学检测需要超高透射、超锐截止滤光片,包括带通、单侧截止、多通带、陷波及分色等多种典型光谱类型.本文简要介绍了五种典型光谱滤光片的膜系设计方法,并以230层双侧锐截止带通典型膜系为代表,详细介绍了超多层薄膜的等离子反应溅射镀制工艺,多监控片膜厚控制及膜厚误差模拟仿真技术,超锐截止光谱表征技术及检测方法.最后给出研制的五种典型锐截止生物医学滤光片镀制结果(部分结果含增透):单面镀膜双侧锐截止带通滤光片的透射率大于95％,截止陡度优于1％;单面镀膜单侧锐截止滤光片峰值透射率大于95％,截止陡度优于0.7％;双面镀膜三通带锐截止滤光片平均透射率大于95％,截止陡度优于1％;陷波滤光片截止深度优于OD6,通带透射率大于90％;分色镜(45°入射)陡度优于1％,平均透射率大于95％.
文献关键词：
生物医学;滤光片;超多层薄膜;荧光;拉曼;等离子反应磁控溅射
中图分类号：
作者姓名：
阴晓俊;王瑞生;赵帅锋;任少鹏;高鹏;费书国
作者机构：
沈阳仪表科学研究院有限公司 汇博光学公司,沈阳 110043;传感器国家工程研究中心,沈阳 110043
文献出处：
引用格式：
[1]阴晓俊;王瑞生;赵帅锋;任少鹏;高鹏;费书国-.超锐截止生物医学滤光片的研制(特邀))[J].光子学报,2022(09):18-29
A类：
多通带,超多层薄膜,陷波滤光片,OD6,分色镜,等离子反应磁控溅射
B类：
特邀,拉曼,生物医学检测,带通,波及,膜系设计,截止带,通典,反应溅射,模拟仿真,仿真技术,光谱表征,表征技术,增透,单面,镀膜,透射率,陡度,双面,三通,入射
AB值：
0.181467
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