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冷阴极气体放电电子束源系统研制
文献摘要：
基于冷阴极电子发射机理,设计制造了冷阴极气体放电电子枪及其电子光学系统;为了使其能够长期稳定工作,采用三级AC–DC拓扑电路、功率变压器原边并联与输出端整流电路串联获取高压的电路、双闭环控制及放电保护技术等,设计制造了冷阴极气体放电电子枪逆变电源;基于上述技术研制的冷阴极气体放电电子束源实现了–20kV/1500mA束流输出.试验结果表明,惰性气体作为放电气体,长时间工作易出现束流减小现象;以空气作为放电气体,输出表现为低压大电流特性;给定的He、Ar、空气的气流量小于0.03L/min,输出束流随着加速电压增大而增大;给定加速电压不变,He气流量逐渐增大,输出束流随着气流量增大而增大;第3级AC–DC电路中的IGBT全桥逆变电路的输出电压、电流波形一致较好,可以保障冷阴极气体放电电子束源长期稳定工作、大功率输出的需求.
文献关键词：
气体放电;等离子体;电子束;电子枪;逆变电源
中图分类号：
作者姓名：
许海鹰;桑兴华;杨波;彭勇
作者机构：
中国航空制造技术研究院高能束流发生器实验室,北京 100024;南京理工大学材料科学与工程学院,南京 210094
文献出处：
引用格式：
[1]许海鹰;桑兴华;杨波;彭勇-.冷阴极气体放电电子束源系统研制)[J].航空制造技术,2022(01):98-105
A类：
1500mA,03L
B类：
冷阴极,气体放电,电子束,束源,系统研制,电子发射,发射机,设计制造,电子枪,电子光学系统,AC,DC,拓扑电路,变压器,输出端,端整,整流电路,双闭环控制,保护技术,逆变电源,20kV,束流,惰性气体,放电气体,输出表,低压大电流,He,Ar,加速电压,IGBT,全桥逆变,逆变电路,输出电压,电流波形,大功率,功率输出
AB值：
0.306101
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