典型文献
面向水下应用的电容式微机械超声换能器
文献摘要：
电容式微机械超声换能器具有宽频带和易于制造二维阵列等优势,已经成为一种重要的新型超声换能器.该文针对图像声呐系统对新型超声换能器的迫切需求,提出了一种电容式微机械超声换能器结构和参数,并利用硅微加工技术制备出了该换能器,最后对其主要性能参数进行了测试和分析.测试结果表明该换能器具有发射和接收超声波的功能,中心工作频率为1.965 MHz,6 dB相对带宽达到109.4％,在1 MHz、2 MHz和3 MHz频率时的接收灵敏度分别为?218.29 dB、?219.39 dB和?218.11 dB.该文研制的电容式微机械超声换能器显示出了优秀的宽频带特性,且工作频率和接收灵敏度性能均基本满足了高频图像声呐系统的需求.
文献关键词：
电容式微机械超声换能器;二维阵列;三维超声成像;晶圆键合;宽频带
中图分类号：
作者姓名：
何常德;张盛东;张斌珍;张文栋;薛晨阳
作者机构：
北京大学信息工程学院 深圳 518055;北京大学信息科学技术学院 北京 100871;中北大学动态测试技术省部共建实验室 太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]何常德;张盛东;张斌珍;张文栋;薛晨阳-.面向水下应用的电容式微机械超声换能器)[J].应用声学,2022(03):405-411
A类：
图像声呐
B类：
电容式微机械超声换能器,宽频带,和易,二维阵列,声呐系统,微加工,加工技术,该换,性能参数,中心工作,工作频率,MHz,dB,相对带宽,接收灵敏度,三维超声成像,晶圆键合
AB值：
0.172554
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
