典型文献
自吸式电化学检测仪的研制与应用
文献摘要：
为了满足半导体行业制造过程中对NH3、HCl、C8H20O4Si、SiH4等电子特种气体泄漏检测的需要,设计了一种基于电化学传感器的固定式气体检测仪.从硬件与软件两个方面详细描述了该仪器的功能和特点.在半导体车间对仪器进行了SiH4、NH3、C8H20O4Si标气检测,结果显示SiH4传感器示值误差小于1％,重复性标准偏差小于1％;C8H20O4Si示值误差小于1％,重复性标准偏差小于1％;NH3示值误差小于1.5％?,重复性标准偏差小于1％.表明该检测仪具有较高的检测准确性和优秀的现场应用能力,能够满足对电子特种气体的检测需求,可在半导体行业推广.
文献关键词：
自吸固定式检测仪;电化学传感器;电子特种气体
中图分类号：
作者姓名：
李斌;王琳琳;沈旺;王芸芸;张汉轩;李想;苏芳琳
作者机构：
杭州谱育科技发展有限公司,浙江 杭州 300203
文献出处：
引用格式：
[1]李斌;王琳琳;沈旺;王芸芸;张汉轩;李想;苏芳琳-.自吸式电化学检测仪的研制与应用)[J].企业科技与发展,2022(06):42-45
A类：
C8H20O4Si,电子特种气体,自吸固定式检测仪
B类：
自吸式,电化学检测,研制与应用,半导体行业,制造过程,NH3,HCl,SiH4,气体泄漏检测,电化学传感器,气体检测仪,详细描述,示值误差,标准偏差,检测准确性,现场应用,应用能力
AB值：
0.186154
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
