典型文献
一种MEMS陀螺仪信号调理电路线性度的测试方法
文献摘要：
主要针对与电容检测式微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)陀螺仪敏感结构适配的信号调理电路,基于其所构成的MEMS陀螺仪测控系统工作原理,建立陀螺仪信号处理的数学模型,并根据陀螺仪系统线性度测试方法,提出一种可等效产生电路电容增益的信号调理电路线性度测试方法,该方法可用于实验室环境下陀螺仪信号调理电路线性度的评估.
文献关键词：
MEMS陀螺仪;信号调理电路;线性度
中图分类号：
作者姓名：
杨阳;唐兴刚;李晋忠;尚玉凤;龙善丽
作者机构：
中国人民解放军海军701工厂,北京100015;华东光电集成器件研究所,江苏苏州215163
文献出处：
引用格式：
[1]杨阳;唐兴刚;李晋忠;尚玉凤;龙善丽-.一种MEMS陀螺仪信号调理电路线性度的测试方法)[J].质量与可靠性,2022(06):19-24
A类：
B类：
MEMS,陀螺仪,信号调理电路,线性度,电容检测,式微,微机电系统,Micro,Electro,Mechanical,System,测控系统,信号处理,实验室环境
AB值：
0.202337
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