典型文献
LTCC滤波器微分层的超声检测及有效性验证研究
文献摘要：
针对超声扫描用于LTCC滤波器微分层检测的可行性开展研究.首先通过理论计算证实,在参考频率下滤波器内部微分层缺陷对超声波有极高的反射率,对实际检测过程中的分辨力要求进行了说明.其次对滤波器开展超声实测,给出具体可行的检测程序,依据检测结果对缺陷信息进行了判别.然后制取样品剖面,根据获取的缺陷信息定位缺陷.最后,利用FIB刻蚀技术对检测结果进行验证,证实了滤波器微分层超声检测的可行性.
文献关键词：
低温共烧陶瓷;滤波器;微分层缺陷;FIB;超声检测
中图分类号：
作者姓名：
张玉兴;龚国虎;何志刚
作者机构：
中国工程物理研究院计量测试中心,四川绵阳621999
文献出处：
引用格式：
[1]张玉兴;龚国虎;何志刚-.LTCC滤波器微分层的超声检测及有效性验证研究)[J].微电子学,2022(04):695-699
A类：
微分层缺陷
B类：
LTCC,滤波器,超声检测,有效性验证,分层检测,反射率,检测过程,分辨力,检测程序,缺陷信息,制取,信息定位,FIB,刻蚀技术,低温共烧陶瓷
AB值：
0.250126
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