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高长宽比金属铝热偶条的制备
文献摘要：
金属铝因其与多晶硅具备良好的塞贝克系数差且成本低在红外热电堆中常用作热偶条,热偶条制备在MEMS工艺流程制备中至关重要,其结构形貌对热电堆性能有很大影响.为研究不同制备方法对铝热偶条的形貌及性能影响,本实验采用金属刻蚀工艺、剥离工艺进行热偶条制备,调整溅射功率、光刻胶厚、曝光剂量、超声功率等参数对制备工艺进行优化,通过共聚焦显微镜、扫描电子显微镜及台阶仪表征形貌,半导体分析仪表征电阻值.实验表明:通过ROL-7133负胶,前烘1 min 30 s,曝光剂量85 mj/cm2,中烘1 min 40 s,显影48 s,采用金属剥离工艺制备得到了宽度3 μm,厚度0.4 μm的高长宽比金属铝热偶条,且整体形貌良好,器件电阻值符合要求.
文献关键词：
高长宽比;热偶条;铝;lift-off;曝光
中图分类号：
作者姓名：
白悦杭;雷程;梁庭;关一浩;宫明峰;齐蕾
作者机构：
中北大学动态测试技术国家重点实验室 太原030051;北方自动控制技术研究所 太原030006
文献出处：
引用格式：
[1]白悦杭;雷程;梁庭;关一浩;宫明峰;齐蕾-.高长宽比金属铝热偶条的制备)[J].电子测量技术,2022(11):45-51
A类：
B类：
高长宽比,比金,金属铝,热偶条,多晶硅,塞贝克系数,红外热,热电堆,MEMS,结构形貌,电堆性能,制备方法,刻蚀工艺,溅射功率,光刻胶,胶厚,曝光剂量,超声功率,制备工艺,共聚焦显微镜,分析仪表,电阻值,ROL,mj,金属剥离,工艺制备,符合要求,lift,off
AB值：
0.34108
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