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真空调频原子力显微镜系统设计
文献摘要：
原子力显微镜(AFM)作为微观领域表征物质性质的强有力工具,在科学研究中被广泛应用.现有的商业原子力显微镜的工作模式大都为调幅模式(AM-AFM),受品质因子Q的影响限制了进一步的高分辨率成像研究.为进一步提高分辨率,设计研发了调频原子力显微镜(FM-AFM),分析了影响系统分辨率的重要因素,并且设计了真空系统,以此提高探针悬臂的品质因子Q.本文对真空环境下FM-AFM的系统性能进行了实验和研究,从系统灵敏度以及测量效果等方面讨论了真空环境下FM-AFM相较于大气环境下的优越性.系统功率谱密度达到10 mHz/√Hz,系统灵敏度△f≤0.02 Hz,探针悬臂的品质因子Q达到14 212,突破了原子力显微镜中的Q限制.
文献关键词：
调频原子力显微镜(FM-AFM);真空系统;高Q因子;高灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
王旭东;温阳;王慧云;冯婕;秦丽;马宗敏
作者机构：
中北大学仪器与电子学院 太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]王旭东;温阳;王慧云;冯婕;秦丽;马宗敏-.真空调频原子力显微镜系统设计)[J].电子测量技术,2022(05):181-186
A类：
B类：
空调,调频,原子力显微镜,AFM,表征物,物质性,调幅,AM,品质因子,高分辨率成像,提高分辨率,设计研发,影响系统,真空系统,悬臂,真空环境,系统性能,测量效果,大气环境,功率谱密度,mHz,高灵敏度
AB值：
0.259295
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