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MEMS电场传感器测试技术研究及进展
文献摘要：
传感器测试技术对于MEMS电场传感器的研制、试产与测量应用非常重要.文中在MEMS电场传感器研发基础上分析了晶圆级测试、器件级测试、测量标定等技术及发展现状,首先介绍MEMS电场传感器原理、结构设计和传感器件的制备工艺等特点.然后重点阐述现阶段研制MEMS电场传感器的晶圆级测试内容与测试方法、器件级测试内容和测量标定系统.最后分析了国内外MEMS电场传感器测试技术的局限性和发展趋势.在此基础上指出随着国内MEMS电场传感器深入应用,MEMS传感器件测试技术将会迎来快速发展期.
文献关键词：
MEMS传感器;电场传感器;晶圆级测试;器件级测试;电场标定
中图分类号：
作者姓名：
雷煜卿;焦飞;张树华;彭国政
作者机构：
中国电力科学研究院有限公司,北京 100192
文献出处：
引用格式：
[1]雷煜卿;焦飞;张树华;彭国政-.MEMS电场传感器测试技术研究及进展)[J].高压电器,2022(07):57-63
A类：
器件级测试,电场标定
B类：
MEMS,电场传感器,测试技术,试产,测量应用,传感器研发,晶圆级测试,传感器件,制备工艺,测试内容,标定系统,器件测试,发展期
AB值：
0.170715
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