典型文献
特气系统工程施工工艺及质量控制分析
文献摘要：
特气系统广泛应用在电子行业、液晶显示屏和集成电路等现代产业 . 一般来说，工艺制程越先进，生产所需的特气要求纯度越高。国内集成电路配套产业起步较晚，厂务建设经验也不多。本文从特气系统工程的施工一步一步地展开，阐述了特气系统工程的施工工艺、质量控制要点和工程试验，旨在帮助相关人员了解特气系统工程工艺，注意防范出现工程质量问题。
文献关键词：
特气系统;施工工艺;质量控制要点;检测
中图分类号：
作者姓名：
吴语
作者机构：
合肥长鑫集成电路有限责任公司 安徽 合肥 230601
文献出处：
引用格式：
[1]吴语-.特气系统工程施工工艺及质量控制分析)[J].中国机械,2022(01):107-109
A类：
特气系统
B类：
工程施工,施工工艺,质量控制分析,电子行业,液晶显示屏,集成电路,现代产业,一般来说,制程,厂务,建设经验,质量控制要点,工程试验,工程工艺,工程质量
AB值：
0.256812
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