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半导体冷阱模块内部除水方法研究
文献摘要：
文章以半导体制冷器构成的腔体为基础,主要研究了腔体内通入干燥空气、干燥零气和干燥氦气对腔体内水汽的影响,并通过对通入气体不同时长和频率的控制,观察水汽凝结变化趋势,寻找更好的冷阱腔体除水方案.结果表明腔体的密封性对腔体内水汽含量有较大影响.通入的干燥零气与干燥氦气对水汽减少有一定作用.通入干燥空气时因为干燥空气本身的水分难以除尽,实验结果证明这样反而会增加腔体中的水汽.
文献关键词：
冷阱;VOCs;空气;零气;氦气
中图分类号：
作者姓名：
范小波
作者机构：
江苏国技仪器有限公司,江苏 苏州 215332
文献出处：
引用格式：
[1]范小波-.半导体冷阱模块内部除水方法研究)[J].科学技术创新,2022(08):26-29
A类：
B类：
冷阱,除水,半导体制冷,制冷器,腔体,干燥空气,零气,氦气,密封性,水汽含量,除尽,VOCs
AB值：
0.282277
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