典型文献
磁控溅射法制备Er2O3薄膜及其力学性能研究
文献摘要：
金属表面纳米化可以明显改善材料表面力学性能,并能对原子的热扩散起到促进作用,本文尝试采用材料表面纳米化技术改善316L不锈钢金属基底与Er2O3薄膜相结合的力学性能.对316L不锈钢采用超音速微粒轰击法处理使得基体表面纳米化,之后采用磁控溅射法在表面纳米化和粗晶粒的316L不锈钢基体上沉积Er2O3薄膜并进行500℃和700℃的退火.发现薄膜在500℃退火时相结构基本保持稳定,在700℃退火时Er2O3薄膜发生明显的单斜相向立方相的转变.利用采用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)和纳米划痕测试对薄膜和基底的结合性能评价.结果表明,700℃退火后的薄膜的要比500℃退火后的薄膜表面裂纹更少,更平整,且证得基底纳米化会使膜基结合性能得到提高.
文献关键词：
Er2O3薄膜;表面纳米化;膜基结合力
中图分类号：
作者姓名：
曹潆心;吴宝珍;杨朝明;杨恒明;罗栋威;薛锐;汪渊
作者机构：
四川大学物理学院,成都610064;四川大学原子核科学与技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室,成都610064
文献出处：
引用格式：
[1]曹潆心;吴宝珍;杨朝明;杨恒明;罗栋威;薛锐;汪渊-.磁控溅射法制备Er2O3薄膜及其力学性能研究)[J].四川大学学报（自然科学版）,2022(01):121-126
A类：
B类：
磁控溅射法,Er2O3,力学性能研究,金属表面,表面纳米化,热扩散,试采,用材,316L,金属基底,超音速微粒轰击,粗晶粒,不锈钢基,退火,相结构,单斜,相向,方相,场发射扫描电子显微镜,纳米划痕,结合性能,性能评价,表面裂纹,膜基结合力
AB值：
0.260203
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