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压电驱动技术研究进展与展望
文献摘要：
压电驱动具有结构简单、构型多样、力密度高、精度高、响应快、断电自锁、无电磁干扰以及环境适应性好等突出优势,在超精加工、半导体制造、机器人、精密仪器、生命科学、航空航天和武器装备等领域均具有迫切的应用需求,已成为高端装备向高精尖发展的一项核心技术.压电驱动技术可为高端装备的突破和发展提供坚实的基础,具有重要的科学意义和实用价值.首先,从高端装备发展对精密驱动技术的实际需求出发,系统阐述了压电驱动技术的定义、分类及特点;其次,介绍了压电驱动技术的研究现状,并对压电驱动技术的典型应用进行了概述和分析;最后,对压电驱动技术进行了讨论与展望.
文献关键词：
压电驱动技术;纳米级精密驱动;共振型压电驱动器;非共振型压电驱动器;超精密操控
中图分类号：
作者姓名：
刘英想;邓杰;常庆兵;张仕静;陈维山
作者机构：
哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室 哈尔滨,150001
文献出处：
引用格式：
[1]刘英想;邓杰;常庆兵;张仕静;陈维山-.压电驱动技术研究进展与展望)[J].振动、测试与诊断,2022(06):1045-1061
A类：
压电驱动技术,纳米级精密驱动,共振型压电驱动器,非共振型压电驱动器,超精密操控
B类：
研究进展与展望,结构简单,密度高,断电,自锁,无电,电磁干扰,环境适应性,突出优势,超精加工,半导体制造,精密仪器,生命科学,航空航天,武器装备,应用需求,高端装备,高精尖,装备发展,典型应用
AB值：
0.140535
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