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半导体老化测试系统专利技术分析
文献摘要：
半导体器件老化测试根据工作原理和结构的不同，半导体器件老化测试系统主要可分为3个部分：（1）老化箱；（2）测试箱；（3）控制箱。其中老化测试系统的智能性和测试效率是该领域的主流发展方向，三菱机电株式会社、中国国家电网公司、东京毅力科创株式会社等掌握其中较多技术；本文针对涉及半导体器件老化测试技术，主要针对半导体器件老化测试技术发展进程、以及其发展方向进行相关的分析。
文献关键词：
半导体;老化;测试
中图分类号：
作者姓名：
樊维维
作者机构：
国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心光电部测控工程室 江苏 苏州 215100
文献出处：
引用格式：
[1]樊维维-.半导体老化测试系统专利技术分析)[J].数字化用户,2022(42):115-117
A类：
B类：
老化测试,测试系统,专利技术分析,半导体器件,老化箱,控制箱,智能性,测试效率,三菱,株式会社,国家电网,电网公司,东京,毅力,科创,多技术,测试技术
AB值：
0.310064
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