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一种宽带声表面波滤波器的设计
文献摘要：
基于大机电耦合系数LiNbO3材料,该文设计了一种激发Love波模式的宽带低损耗声表面波滤波器.研究了不同切向下LiNbO3材料的机电耦合系数,以及不同切向、膜厚下15°YX-LiNbO3的瑞利波激发情况.测试结果表明,采用铜电极对谐振器进行切趾加权抑制横向模式,宽带滤波器可实现较小的插入损耗和较好的通带特性.
文献关键词：
LiNbO3;Love波;宽带;声表面波(SAW);瑞利波;横向模式
中图分类号：
作者姓名：
陈晓阳;王永安;袁燕;曹玉
作者机构：
北京无线电测量研究所,北京 100854;北京航天微电科技有限公司,北京 100854
文献出处：
引用格式：
[1]陈晓阳;王永安;袁燕;曹玉-.一种宽带声表面波滤波器的设计)[J].压电与声光,2022(02):238-241
A类：
声表面波滤波器,大机电耦合
B类：
机电耦合系数,LiNbO3,Love,波模,低损耗,YX,瑞利波,谐振器,切趾,横向模式,宽带滤波器,插入损耗,通带,SAW
AB值：
0.280017
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